歪歪巴图光学提供自主研发的光谱反射仪(SR)。
系统特别适用于半导体工艺监控、光学镀膜质量控制、新型材料研发等领域，已成功应用于多家国内知名半导体企业。
📊 产品介绍
✨ 产品特点
- 光谱范围：190-900nm，覆盖紫外、可见、近红外
- 高测量精度：薄膜厚度测量精度优于2A
- 智能分析软件：内置多种光学模型，支持自定义模型
- 自动化控制：支持样品台自动定位和多点测量
- 环境适应性：可在不同温度和气氛条件下工作
📊 技术参数
| 参数名称 | 技术指标 |
|---|---|
| 光谱范围 | SR:190-900nm (可选) |
| 重复精度 | ≤2A (针对500A单层膜) |
| 光斑尺寸 | ≤25*25μm |
| 样品台尺寸 | Φ200mm (可定制) |
| 定位精度 | ±1μm (XY), ±0.1° (θ) (可定制) |
| 软件功能 | 自动拟合、多模型支持、批量处理 |
🏭 应用场景
光谱反射测量系统广泛应用于薄膜材料的表征，特别适用于以下场景：
半导体薄膜厚度测量
氧化层、氮化层厚度测量
光学镀膜
增透膜、反射膜、滤光片质量控制
新材料研发
二维材料、钙钛矿、有机薄膜表征